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マイクロマシニング向け、低価格・長寿命UVナノ秒パルスレーザ、新モデルをリリース

2017年6月26日

コヒレント・ジャパン株式会社

コヒレント社(米国カリフォルニア州サンタクララ)は、2017年6月26日、同出力クラスにおいて比類のない長寿命を実現する、Qスイッチ付LD励起固体レーザ(DPSS)の新モデルをリリースした。この新製品AVIA LX 355-20は、平均出力20W @ 355 nm(繰返周波数50 kHz動作時)、優れた近回折限界のビーム質(M² <1.3)、20,000時間以上の長寿命を実現する。

卓越したパフォーマンスと、信頼性を両立しながら、低価格を実現する本製品は、マイクロエレクトロニクス製造やパッケージング分野での、カッティングやドリリング、マーキングなどの用途に最適なモデルとなっている。主なアプリケーションは、ウェハのスクライビングやカッティングだけでなく、フレックス材料の加工、チップやモールドフォームへのマーキング、ICパッケージのトリミングなどがある。さらに、3Dチップパッケージ製造における、ビアドリリングやガラス、セラミック、銅、複合材料などの加工にも適している。AVIA LX 355-20が提供する短パルスは、材料への熱影響を抑え、より薄い材料への高度な精密加工を可能にする。

AVIA LX 355-20は、小型(140 mm x 110 mm x 620 mm)、一体型設計(レーザヘッド、コントローラ、励起LDを一体化)、簡易設置を可能にする3点キネマティックマウント採用など多くの優れた特長を備えている。(ユーザは、DC電源と冷却チラーを準備するだけで動作が可能。) 本レーザは、設計・製造段階でHALT/HASS試験の厳しい条件をクリアしており、長期間メンテナンスフリーでの安定稼動を可能としている。

また、第3高調波(THG)発生用の結晶は、通常長期動作のために集光スポットをシフトさせるが、本レーザでは予め全ての集光スポットを検査しており、スポットシフトした際のビーム特性や出力に大きな変化がないよう自動で最適化している。

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