高出力、産業用ピコ秒レーザの次世代モデルをリリース

2016年2月17日

コヒレント・ジャパン株式会社

コヒレント社(米国カルフォルニア州サンタクララ)は、2016年2月17日、次世代産業用ピコ秒レーザの新モデルHyperRapid NXを発表した。 新モデルでは最新プラットフォームを用いることで、高い性能と信頼性を両立し、より広範囲の精密微細加工ニーズにおいて経済性を向上させる。 HyperRapid NXのIR(1064 nm)モデルは、エネルギー250 µJ (パルス幅典型値10 ps)で、最大2 MHzの繰返周波数に対応している。 例えば、装置内でビームを分岐してマルチパス加工を構成する用途などにおいても十分な出力を備え、高スループット加工を可能としている。 新製品として、532 nmと355 nmでの高出力発振モデルも同時リリースする。

本モデルは、レーザヘッド内にエレクトロ二クスを内蔵し、システムのさらなる小型化と高い信頼性を実現している。 また最新の外部コントロール機能とトリガーモードでは、パルスごとの時間やエネルギーを制御し、高効率のアブレーションを可能にするバーストモードなど非常に高度な制御機能を提供する。 そして、波長や出力に関係なく、レーザヘッドやインターフェース、ビーム特性、電源やチラーが共通であることから、装置搭載の互換性を満たすことができる。

HyperRapid NXは、高い精度と高スループットのもと、熱影響層を最小限に抑えた様々な材料加工応用、また他の手法では難しかった材料加工へ新たな可能性を広げていく。 主に、マイクロエレクトロニクスやディスプレイ、太陽電池製造などに使われる脆性材料、セラミックやポリマー、複合材料などの切断やスクライビング、ドリリング、マーキングなどの応用に適している。

主な仕様

  • 波長:355 nm、532 nm、1064 nm
  • パルスエネルギー:~≧250 µJ

アプリケーション

  • 精密微細加工

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