レーザ直接描画、半導体非破壊検査向けUVレーザをリリース

2007年10月 3日

コヒレント・ジャパン株式会社

コヒレント社(米国カルフォルニア州サンタクララ:NASDAQ上場)は、2007年10月1日、高出力全固体モードロックUVレーザのアップグレードモデル Paladin Advanced 355-8000(波長:355 nm、出力:8W、擬似CW)をリリースした。

このアップグレードモデルは、共振効率を改良したことで、消耗品である励起用のダイオードを従来の4つから2つに削減できた。これにより、ランニングコストを低減でき、また従来2台装備していた電源(masterとslave)を1台に削減できたので、省スペースも同時に実現する。さらに従来の8Wモデル同様の優れた空間モード(M2<1.2)、低ノイズ<1% RMS(10 Hz to 2 MHz)、高繰返し80 MHz等の仕様を満たした上、製品価格を従来機に比べ約20%程度低減することに成功した。

なお、製造特許技術PermAlignにより、熱膨張率の低いインバーボード上に光学部品を正確に直接ハンダ付けして固定するので、振動に強く、安定動作が長時間調整なしに実現できる。また自社製アルミニウムフリーLDを採用しているので、消耗品のダイオードの寿命が長く、交換回数を低減できる。

Paladin Advanced 355-8000は、プリント基板の直接描画やFPDガラス基板のスクライビング、回路イメージングやベア及びパターン付半導体ウエハーの検査用に最適な光源である。

主な仕様

  • 波長:355 nm
  • 出力:8W (擬似CW発振)
  • 繰返周波数:80±1 MHz
  • 空間モード:TEM00(M2<1.2)
  • ノイズ(10 Hz to 2 MHz):<1 % RMS

アプリケーション

  • プリント基板直接描画
  • 半導体非破壊検査
  • FPDガラス基板スクライビング
  • CTP印刷
  • 高速薄膜微細加工

特長

  • 低ランニングコスト
  • 高信頼性
  • 長寿命

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