エネルギーセンサー    :エネルギーセンサーとは

エネルギーセンサーとは

エネルギーセンサー

エネルギーセンサー

一般的にエネルギーセンサーは焦電気物質を利用したセンサーで、パイロエレクトリックセンサー、パイロセンサー、焦電センサーと呼ばれているものです。サーマルセンサーとは異なり、焦電気物質は温度の変化を検出するため、出力の変化のないCW発振レーザの測定には不向きで、パルス発振レーザのエネルギー測定用のセンサーとなります。エネルギー測定を行う際には、パワー測定にはないレーザの特性を考慮する必要があります。例えばパルスあたりのエネルギー値に加え、パルスの幅、繰返周波数、最大平均パワー値や短波長測定時の損傷耐性など、より多くの特性を考慮する必要があります。焦電気物質の特性上、例えば、最大繰返しレートの早いものでも、最大平均パワー値には制限がありますので、繰返しレートを優先する場合には、パルスあたりの測定可能なエネルギー値は小さくなります。

センサーから出力される信号は、のこぎり刃状に繰返される電圧となりますので、この波高値を専用のディスプレイでエネルギー値に変換して計測することが一般的ですが、場合によっては、BNC端子による出力を行うエネルギーセンサーを使い、オシロスコープで読み取ることも可能です。

また、多少特殊なセンサーとして微小エネルギー測定用にシリコンやゲルマニウムをベースとしたフォトダイオード式のエネルギーセンサーがあります。