該当アプリケーション

  • Edge Isolation
  • Dielectric Ablation
  • Dopant Diffusion
  • Ablation with Doping
  • Wrap-Through
  • Etch Barrier Ablation

製造用ｃ-Siプロセスシステム

Equinox-Pilot

（イクイノックス・パイロット）

結晶シリコン太陽電池向けレーザ加工装置 「Equinox-Pilot」 は、製造用ｃ-Siプロセスシステムで、パイロットライン向け装置です。レーザは1台もしくは複数台搭載可能です。ワークポジションが2箇所の回転式テーブルを有し、スループットは100～1000枚/時程度(アプリケーションに依存)です。ワークポジションが2箇所の回転式テーブルを有します。ワークのLoad/Unloadはマニュアルとなります。
  • パイロットライン向け
  • 1台もしくは複数台のレーザの搭載が可能
  • ワークポジションが2箇所の回転式テーブルを有する
  • スループット： 100～1000枚/時程度（アプリケーションに依存）
  • 高速スキャナ搭載(最大 7 m/秒)
  • 対応ウェハサイズ： 100 x 100 mm, 125 x 125 mm, 150 x 150 mm, または 156 x 156 mm、厚さ： >100 μm
  • ワークはマニュアルにてLoad/Unload

ワークポジションが2箇所の回転式テーブル

本仕様は予告なく変更される場合がございます。仕様及び製品保証の詳細条件については、ご契約時に必ずご確認ください。