Deep-UV発振 水冷アルゴンレーザ
Innova FreD
（イノーバ・フレッド）
Innova FreDは、Innova 300CまたはInnova Sabreをベースに非線形光学結晶BBO（β-Barium Borate）による内部SHG（Second Harmonic Generation）を施した、連続発振Deep-UV（229.0 - 264.3 nm）レーザです。優れた性能が連続発振で得られるため、エキシマレーザで実現できない、より安定性が求められる用途に最適です。
- 長寿命シリーズVプラズマチューブ採用
- スーパーインバー採用安定共振器
- パワートラック共振器安定化機能搭載。
常に最大出力に調整されることにより優れた空間モード、ノイズ性能の安定性を実現します。 - モードトラック機能（I300C FreDオプションにて可能）
幅広い温度レンジでのモードホップフリー単一周波数発振が可能です。 - 自動結晶 シフター機能搭載
- 低価格モデルInnova 90C FreDをラインナップ（出力仕様はInnova 300C MOTOFRED を参照）
イントラキャビティSHG
FreDではSHG出力を効率的に得るため、共振器内にBBO結晶を配置しています。 |
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