レーザアニーリング向け大出力エキシマレーザ   :特長

VYPER

(バイパー)


~次世代AMLCD / AMOLEDディスプレイ 量産用に最適~

VYPERは、次世代フラットパネルディスプレイ用低温ポリシリコン(LTPS)の大量生産を可能にするレーザアニーリング向け高出力(kWクラス)エキシマレーザです。専用ラインビーム光学系を組み合わせることで、生産スループットを飛躍的に向上させます。また将来的な拡張性においても、第8世代までの基板サイズにも対応でき、ディスプレイメーカーの厳しいコスト目標をサポートできるシステムです。
  • 世界最高レベルの出力(kWクラス)
  • 優れたエネルギー安定性(0.45%以下)

アニール用エキシマレーザにおける長時間安定性の進化

VYPER アニール用エキシマレーザにおける長時間安定性

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