エキシマレーザ

コヒレント社は、卓越した技術を誇るドイツのエキシマレーザメーカー2社（ラムダフィジック社、TuiLaser社）を傘下に、2005年10月1日より エキシマレーザ（UV波長領域における高出力パルスレーザ）の販売を開始いたしました。コヒレント社のエキシマレーザは、157、193、248、 308、351 nmのUV波長領域において様々なパルスエネルギーと繰返周波数の幅広い製品を取り揃えております。産業、医療、理科学 研究用途、バイオ応用などの分野における各種アプリケーションに適したレーザをご提案いたします。

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  • 9高平均出力( 150 – 1500W )
  • 9中平均出力( 50 – 150W )
  • 9低平均出力( 50W以下 )
  • 9UV微細加工装置
  • 9レーザアブレーションシステム
  • 9ご提案型専用光学系
  • 20120208

    レーザアニーリング向け大出力エキ...

    VYPER
    VYPER

    308nm,~1200W＠600Hz

    優れたエネルギー安定性（0.5%以下）

    第８世代までの基板サイズにも対応
  • 20120208

    大出力超高安定性産業用エキシマレ...

    LAMBDA SXシリーズ
    LAMBDA SXシリーズ

    248/308nm,~540W＠600Hz

    バーストモードでもエネルギーが安定

    レーザアニーリングや超精密ドリリングの光源に最適

    専用ソフトウェアにより、複数台の運用を一括管理
  • 20120208

    高効率、高出力エキシマレーザ

    LPXproシリーズ
    LPXproシリーズ

    157/193/248/308/351nm,~80W＠200Hz

    稼働率の高い産業用途にも対応
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    高効率、高出力産業用エキシマレー...

    LEAPシリーズ
    LEAPシリーズ

    248/308nm,~130W＠200Hz

    微細加工応用のコールドアブレーションに最適な波長

    効率的な加工を実現する広い安定化パルスエネルギー領域

    低ショットエネルギー単価
  • 20120208

    ファイバーグレーティング用小型エ...

    BraggStar M
    BraggStar M

    ファイバーグレーティング生産用

    248nm,~12W@100Hz

    空間コヒーレンス：800μm（ビーム短軸方向）

    パルスエネルギー：140mJ

    小型
  • 20120208

    簡易設置型 小型・高性能エキシマ...

    Xantos XS シリーズ
    Xantos XS シリーズ

    157/193/248/351nm, ~4W＠500Hz

    省スペース設計（ガスシリンダー内蔵）

    空冷方式

    小型・軽量設計
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    小型・高性能エキシマレーザ

    ExciStar XSシリーズ
    ExciStar XSシリーズ

    157/193/248/351nm, ~4W＠500Hz

    専用コントロールソフトウェア

    超小型・軽量設計
  • 20120208

    ナローバンド小型・高性能エキシマ...

    BraggStar S-Indus...
    BraggStar S-Industrialシリーズ

    193/248nm,~12W@1000Hz

    コヒーレント長を最適化

    小型・軽量設計

    ソリッドステートスイッチ（高繰返し動作）
  • 20120208

    長寿命 小型高繰返しエキシマレー...

    IndyStar
    IndyStar

    193/248nm,~12W@2000Hz

    100億ショットレベルチューブ寿命を実現

    高繰返し(1kHz、2kHz)

    小フットプリント
  • 20120208

    コンパクト、高パルスエネルギータ...

    COMPexProシリーズ
    COMPexProシリーズ

    193/248/308/351nm, ~30W＠100Hz

    コンパクトなデザインで、設置・操作が容易

    理科学及び研究用途、医療用途にも多くの実績
  • 20120208

    UV微細加工装置

    VarioLas
    VarioLas

    3種類の標準モデル

    柔軟な少量生産に最適

    豊富なオプション：安全/制御用
  • 20120208

    レーザアブレーションシステム

    GeoLasPro
    GeoLasPro

    LA-ICP-MS（レーザ高周波誘導結合プラズマ質量分析）応用向け

    193 nm

    サンプリング速度：　1～100 Hzの広範囲
  • 20120208

    エキシマレーザ関連

    エキシマレーザ専用光学系
    エキシマレーザ専用光学系

    光学モジュールやコンポ―ネントを組み合わせて専用の光学系を設計

    ラインビームの最長モデルでは、750mmの長さを実現