高繰返し、高出力産業用全固体ピコ秒発振レーザ 
(波長:355/532/1064 nm 出力:~25W)   :特長

Taliskerシリーズ

(タリスカー)

Taliskerシリーズは、短パルス(<15 ps)かつ、高繰返周波数(Talisker 1000:1 MHz)発振がマイクロジュールレベルのパルスエネルギーのもとに得られ、かつ産業組込用途に耐えうる高信頼性を同時に実現した次世代精密微細加工用に最適な全固体ピコ秒発振レーザです。 ファイバーレーザ(オシレータ)とフリースペース共振器(アンプ)を組み合わせた独自の設計コンセプトにより、コンパクトかつ戻り光に強く、長期にわたり完全メンテナンスフリー動作を実現します。マイクロエレクトロニクスやその他の産業応用で求められる、熱影響を最小限に抑えた精密微細加工が高スループットのもとに実現出来る産業用全固体ピコ秒レーザです。

3波長発振のTalisker Ultraと、単波長発振・高出力・高スループットモデルのTalisker1000、高エネルギーモデル Talisker HEから選択いただけます。
  • ファイバーレーザをベースにした最先端技術
  • 優れた空間モード (M2 <1.3)
  • パルス幅: <15 ps
  • パルス間安定性(σ): <5 %rms (355 nm発振の場合)
  • ソフトウェアからの切替で発振波長選択が可能(Talisker Ultraのみ)
  • 内部搭載AOMによる繰返周波数制御
  • 高信頼性(ファイバーレーザ+フリースペースアンプ採用)
  • 完全シールド構造で高信頼性、フィールドモジュール交換可能
  • 過酷な出荷前検査を全ユニットに実施、電子データ管理
  • GUI及びRS-232インタフェースを標準装備
  • AAA(アルミニウムフリー)レーザダイオード使用により長寿命

製品ラインアップ

 Taliskerシリーズ 製品ラインナップ

 Taliskerシリーズ

 Talisker 1000 パルスのエネルギー


Talisker 微細加工例

Taliskerシリーズの装置コンセプト

Taliskerシリーズ 装置コンセプト

短パルスレーザ加工のメリット

  • ・マイクロクラックの低減
  • ・再凝固したデブリの低減
  • ・材料を蒸発させることにより優れた加工結果を実現
  • → ピコ秒パルスレーザを使った加工の場合、熱影響(HAZ)を最小限に抑えた精密微細加工を実現します。


     Taliskerシリーズ 短パルスレーザ加工のメリット
    温度ドリフト時の出力安定性

    Talisker Ultra 355-4

    Talisker Ultra 355-4: power stability over temperature stress test

    出力安定性

    Talisker Ultra 1064-16

    Talisker Ultra 1064-16 Power Stability

    ビーム位置安定性(X軸及びY軸)

    Talisker Ultra 532-8

    Talisker Ultra 532-8 pointing test

    優れたビームクオリティ

    左図:532 nm SHG (典型)、右図:355 nm THG (典型) 

    本仕様は予告なく変更される場合がございます。仕様及び製品保証の詳細条件については、ご契約時に必ずご確認ください。