産業用高繰返し、高出力フェムト秒発振レーザ   :特長

Monaco

(モナコ)

高繰返し(~50MHz)、高エネルギー60 μJ(NIR)、30 μJ(グリーン)登場!

Monacoは、堅牢性の高いLD励起MOPAデザインで24時間稼働の生産用途に最適なモデルです。新たに、最大50MHzまでの繰返周波数に対応し、60 μJ@670 kHz(NIR)、30 μJ @ 670 kHz(グリーン)という高いパルスエネルギーを実現し、微細加工における生産スループットの向上に、将来に渡って貢献します。 Monacoの持つ400 fsという超短パルスは、樹脂や薄膜の切断、シリコンウェハのスクライビング、モバイル機器用の強化ガラスの切断などにおいても高品位加工を実現し、また10 psまでのパルス幅調整が可能なオプションモデルも揃えています。

Monacoは、オシレータ部とアンプ部が一体化されたワンボックス構造で、メンテナンス頻度を低減しながら性能を維持するために、アクティブクリーニング機能PureFemtoTMが施された密閉シールド内に、励起光源やアンプ部品といった各種コンポーネントがパッケージされています。 またそのヘッド内に、光学部品や電気部品、制御ボードなどが全て搭載されているため、励起光源用ファイバーのみならず各種配線の煩わしさもありません。

コヒレント社は、コンシューマーエレクトロニクスや自動車産業で一般的な高加速寿命試験(HALT)や加速ストレス性能試験(HASS)をレーザ製造工程に採用し、他に類を見ない信頼性を実現しています。 もちろん、Monacoモデルも、設計・製造は高加速寿命試験(HALT)により繰返し最適化され、個々のユニットは加速ストレス性能試験(HASS)の実施により、他に類を見ない高信頼性の産業用フェムト秒発振レーザです。
  • フェムト秒高出力: 400 fs, 40W (60 μJ @ 670 kHz / 1035 nm)、20W (30 μJ @ 670 kHz / 517 nm)
  • 幅広い繰返周波数:シングルショット ~ 1 MHz、高繰返し対応:2,3,4,5,10,50 MHz(AOMによるパルスピッキングなし)
  • パルス幅可変オプション可能 (<400 fs ~ >10 ps) *IRモデルのみ
  • 優れたビーム質 (M2 <1.2)
  • 完全密閉筐体のワンボックス設計
  • 高加速寿命試験(HALT)、加速ストレス性能試験(HASS)を採用
  • イーサネット接続によるリモートアクセスが可能

優れたビームモード

Monacoの優れたビームモード@1 MHz

パルス時間波形の参考(オプションモデルによるパルス幅可変)

Monaco パルス時間波形の参考(オプションモデルによるパルス幅可変)

GUIインタフェース画面

Monaco GUIインターフェース画面

本仕様は予告なく変更される場合がございます。仕様及び製品保証の詳細条件については、ご契約時に必ずご確認ください。