小型全固体アクティブQスイッチ短パルスレーザ   :特長

Heliosシリーズ

(ヘリオス)

パルス繰返周波数(50 kHz)とパルス幅(<600 ps)を特長とするHeliosシリーズは、高い平均出力と高いピークパワーのユニークな組み合わせにより、エレクトロニクスや太陽電池産業で求められる高スループットを可能にする小型全固体アクティブQスイッチ短パルスレーザです。

薄膜やc-Siソーラーセル(反射防止膜もしくはパッシベーション層など)のスクライビングをはじめ、シリコンウェハーダイシングや幅広い材料の精密マーキング、金属へのブラックマーキングやファイバーレーザでは加工周辺部に熱損傷が生じる繊細な材料へのマーキングに適しています。

Heliosシリーズは、MOPA(master-oscillator power-amplifier)構造を採用しており、この2つのステージでのアプローチは、コスト対出力を考慮するにあたり、魅力的な選択肢を提供します。特に、共振器からはTEM00(M2<1.25)の優れた円形ビームが得られ、アンプ部分はモジュール構造となっており、特定の応用に対して、高出力化のニーズにも対応します。

Heliosシリーズは、Innolight社の買収により、コヒレントが販売を拡大している短パルス全固体レーザのラインアップに加わりました。パッシブQスイッチ短パルスレーザFlareシリーズについては、こちらをご覧ください。
  • 平均出力: ~3W @ 532 nm、~5W @ 1064 nm
  • パルス繰返し周波数:シングルショット~ 70 kHz (オプション:~ 125 kHz)
  • 小型設計
  • 空冷式
  • 産業用途に対応した封じ切りパッケージで高信頼性と優れたコストパフォーマンスを実現
  • エレクトロニクスや太陽電池産業で求められる高スループット、高品位加工を実現

Heliosシリーズ ラインアップ

Heliosシリーズ ラインアップ

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