詳細応用例
■ 結晶シリコン型
- エッジアイソレーション
- Laser Grooved Buried Contacts
- 表面テクスチャリング
- パシベーション層の加工
- 穴あけ（ビアホール加工）
- レーザドーピング
- レーザ・ファイヤード・コンタクツ
- ソルダリング（はんだ付け）
■ 薄膜デバイス型
- a:Si パターニング
- CIGSパターニング
- ガラス切断
- フリット溶接
- シースルーパターニング
太陽電池（ソーラーセル）加工
現在、世界的に環境への意識が高まる中、地球にやさしいエネルギー源として太陽電池に注目が集まっています。太陽電池セルおよびモジュールの製造現場では、コスト削減、歩留まり向上、性能強化が課題になっており、このような問題を効果的に解決する標準技術として、レーザが利用され始めています。コヒレント社では、当アプリケーション向けにレーザ発振器のみならず、レーザ加工装置も提供しています。
レーザ活用のメリット
- ウエハ薄膜化への対応とスループットの両立
- プロセスサイズの最小化
- 工程数および、CoOの低減と自動化メリット
コヒレント社 太陽電池ソリューションビデオ
- コヒレント社の当アプリケーションソリューションのご紹介をご覧頂けます。下記をクリック頂くと、別画面が立ち上がります。画面右下の「START DEMO」ボタンをクリックしてください。（日本語音声あり）
加工例
結晶シリコンのビアホール加工
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結晶シリコン：ピコ秒レーザによるパシベーション層の加工（下記加工例：10 μｍレベル） |
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