半導体応用

詳細応用例

  • 半導体非破壊検査
  • 干渉露光
  • シリコンダイシング・Low-kスクライビング
  • DAFカッティング
  • レーザアニール
  • メモリーリペア・マスクリペア・デバイストリミング

半導体応用   :目的別製品

半導体のダイシング・パッケージング応用において、一層の薄化・高集積化要求に伴い、レーザを用いた微細加工が急速に拡大しています。高いスループット、長期メンテナンスフリーを両立するコヒレント社のレーザは、高生産性を実現します。また回路パターンの微細化による、半導体非破壊検査応用での短波長化 ニーズにお応えするため、小型UVレーザを製品化しました。さらに、次世代半導体デバイスのアニーリング応用ニーズに向けて、様々な波長の高出力レーザをご提案します。

ご希望の応用、レーザの種類を選択ください。コヒレント社のレーザで該当の製品一覧が下に表示されます。

  • ご希望のレーザの種類を選択する
  • 連続発振/擬似連続発振全固体レーザ&LDモジュール
  • パルス発振全固体レーザ (フェムト秒/ピコ秒/ナノ秒)
  • フェムト秒/ピコ秒レーザシステム、再生増幅器&光パラメトリック増幅器
  • エキシマレーザ
  • 高出力半導体レーザ&ファイバーレーザ
  • 水冷イオンレーザ

該当製品一覧

  • 応 用: 半導体非破壊検査

  • 応 用: 干渉露光

  • 応 用: シリコンダイシング、Low-kスクライビング

  • 応 用: DAFカッティング

  • 応 用: レーザアニール

  • 応 用: メモリリペア・マスクリペア・デバイストリミング

  • レーザの種類:連続発振/擬似連続発振全固体レーザ&LDモジュール

  • 高出力、コンパクト UVスマー...

    OBIS LGシリーズ

    OBIS LGシリーズ

    UV(355 nm), ~20 mW

    高出力、小型、高安定性

    出力可変

    優れたビーム質

    新たな小型パッケージ

    プラグ アンド プレイの簡易操作

  • 全固体高出力小型UV/ブルー/...

    Genesis CXシリーズ

    Genesis CXシリーズ

    355/460/480/488/514/532/577 nm, ~10W

    シングル横モード発振モデル/縦単一周波数発振モデル

    高性能、高出力、小型、高コストパフォーマンス

  • 全固体高出力小型ブルー/グリー...

    Genesis MXシリーズ

    Genesis MXシリーズ

    460/480/488/514/532/577 nm, ~8W

    シングル/マルチ横モード発振モデル、縦単一周波数発振モデル

    高性能、小型、低価格、高コストパフォーマンス

  • OPSL 小型高出力全固体ブル...

    Genesis Taipanシ...

    Genesis Taipanシリーズ

    シングルモード:460/480/532/590 nm, ~5W

    マルチモード:460/480/488/514/532/561/577/607/639 nm, ~10W

    メンテナンスフリーのシールド設計

    ライトショー、ディスプレイ等に最適

  • 全固体連続発振IRレーザ

    MATRIX 1064 CW

    MATRIX 1064 CW

    1064 nm, ~10W

    低価格、高性能、メンテナンスフリー

    光ピンセット、マーキング等に最適

  • 全固体高出力グリーンレーザ

    Verdi G、Vシリーズ

    Verdi G、Vシリーズ

    532 nm, ~20W

    次世代励起用モデル/単一周波数発振モデル

  • 低出力/低価格 超小型グリーン...

    Compass 115M

    Compass 115M

    532 nm, ~20 mW

    小型、高信頼性、長寿命

    ヘッド搭載/ケーブル分離型

  • 超小型全固体OPSLレーザ(ブ...

    Sapphireシリーズ

    Sapphireシリーズ

    458/488*/415/532*/552/561/568/588/594 nm, ~500 mW (*SFモデルはこの波長のみ)

    優れたビーム質 

    超小型設計(LP/FP/SFモデル:125 x 70 x 34 mm)

    低消費電力(LP/FP/SFモデル:<60W)

    超低ノイズ(LP/FP/SFモデル:<0.25% rms(20 Hz~2 MHz)

    単一周波数発振モデル、ファイバー出力モデル有

  • コントローラ内蔵 超小型全固体...

    OBISシリーズ

    OBISシリーズ

    UV~IR(375-785 nm), ~250 mW

    超小型、低コスト、低放熱量

    ファイバーカップリングタイプ有

    直接変調機能 標準装備

    プラグアンドプレイの簡易操作性

  • 小型ダイオードレーザモジュール

    CUBEシリーズ

    CUBEシリーズ

    UV~IR(375-730 nm), ~100 mW

    ファイバーカップリングタイプ有

    デジタル/アナログ変調の同時使用可

  • 小型高出力モードロック全固体U...

    Paladin Compact...

    Paladin Compact 355

    355 nm, ~4W

    疑似CW発振

    低価格、省電力

    小型(ヘッドサイズ: L686 x W216 x H127 mm)

  • 高出力モードロック全固体UVレ...

    Paladin Advance...

    Paladin Advanced

    355/532 nm, ~24W

    疑似CW発振

    省電力(完全100VAC動作)

    ヘッドサイズ: L1100 x W305 x H200 mm

  • 全固体Deep-UVレーザ(2...

    Azure

    Azure

    266 nm, ~230 mW

    単一周波数発振

    優れたビーム位置安定性

  • レーザの種類:パルス発振全固体レーザ (フェムト秒/ピコ秒/ナノ秒)

  • 高出力、産業用ピコ秒レーザの次...

    HyperRapid NXシリ...

    HyperRapid NXシリーズ

    出力(@ 1000 kHz): 最大100W(IR)、50W(グリーン)、30W(UV)

    繰返周波数: ~ 1 MHz

    最大パルスエネルギー:250 µJ

    パルス数の任意設定可能

    バーストモード機能搭載

    コンパクトで経済的な設計

  • 産業用高出力フェムト秒発振レー...

    Monaco

    Monaco

    フェムト秒高出力: 400 fs, 40W (40 μJ @ 1 MHz / 1035 nm)、20W (20 μJ @ 1 MHz / 517 nm)

    幅広い繰返周波数:シングルショット ~ 1 MHz

    パルス幅可変オプション可能 (10 ps) *IRモデルのみ

    優れたビーム質 (M2 <1.2)

    完全密閉筐体のワンボックス設計

    高加速寿命試験(HALT)、加速ストレス性能試験(HASS)を採用

    イーサネット接続によるリモートアクセスが可能

  • 産業用 高エネルギー フェムト...

    RAPID FXシリーズ

    RAPID FXシリーズ

    フェムト秒高パルスエネルギー:~100 μJ @ 100 kHz (10W @ 1030 nm, 900 fs)

    高繰返周波数:~ 200 kHz

    パルスオンデマンド機能

    優れたビーム質 (M2 <1.4)

    AOMプロセスシャッター内蔵

    産業用要件をみたす高い安定性と高信頼性設計

    小型レーザヘッド: 68 x 26 x 29 cm (電装部品をすべて一体化)

  • 全固体パッシブQスイッチ短パル...

    FLARE NX

    FLARE NX

    波長:343/515/1030 nm

    最大繰返周波数:2 kHz

    最大パルスエネルギー:>500 µJ (IRモデル)

    短パルス:~1 ns

    小型設計:(L) 160 x (W) 93.5 x (H) 38.25 mm

    MALDI-TOF、レーザマイクロダイセクション、レーザ誘起蛍光(LIF)などライフサイエンス応用に理想的

  • 高出力Qスイッチパルスグリーン...

    REVOLUTIONシリーズ

    REVOLUTIONシリーズ

    波長:527 nm、最大平均出力80W、最大パルスエネルギー45 mJ

    繰返周波数レンジ:シングルショット~10 kHz(調整可)

    産業応用で実績のあるHASS/HALTを実施し、産業レベルの信頼性を提供

  • 高出力、小型全固体ナノ秒UV/...

    AVIA NX

    AVIA NX

    355 nm (10W、20W、40W)

    532 nm (36W、65W)

    コントローラをレーザヘッドに内蔵した小型設計

    繰返周波数:~300 kHz

  • 産業用小型ピコ秒発振レーザ

    RAPID NXシリーズ

    RAPID NXシリーズ

    平均出力(@ 1000 kHz): 7W @ 1064 nm

    繰返周波数:50 kHz ~ 1 MHz

    最大パルスエネルギー:50 µJ

    パルス数の任意設定可能

    レーザパルス制御機能(Seeder Burst)搭載

    高ビーム品質:M2 <1.3

  • 高繰返し、高出力全固体パルスU...

    AVIA 355

    AVIA 355

    平均出力:~33W@ 110kHz

    波長:355 nm

    シングルショット~300 kHz

    TEM00で業界最高クラスの出力とスループット

    長期保証:24ヶ月(10,000時間)(※33Wモデル以外)

  • 高繰返し、高出力産業用全固体ピ...

    RAPIDシリーズ

    RAPIDシリーズ

    旧Lumera Laser GmbH社の高出力ピコ秒レーザ

    高繰返しタイプ(5モデル)、高エネルギータイプ(2モデル)から選択

    出力: 100W @1064 nm、65W @532 nm (HYPER RAPID 100)

    高ビーム品質:M2<1.3 (HYPER RAPID 50、HYPER RAPID 50-HE、HYPER RAPID 100はM2<1.4)

    繰返し周波数: ~ 1 MHz

    短パルス:<15 ps (RAPID/RAPID10のみ<10 ps)

    バーストパルススプリット機能(1パルスを時間分離する)

    外部トリガー制御用EOMオプション

  • 小型全固体アクティブQスイッチ...

    Heliosシリーズ

    Heliosシリーズ

    平均出力:~3W@532 nm、~5W@1064 nm

    シングルショット~ 70 kHz(オプション:~ 125 kHz)

    小型設計

    空冷式

    高信頼性と優れたコストパフォーマンスを実現

    エレクトロニクスや太陽電池産業で求められる高スループット、高品位加工を実現

  • 全固体Qスイッチパルスグリーン...

    MATRIX 532/1064

    MATRIX 532/1064

    ~14W@532 nm, ~10W@1064 nm

    高性能、メンテナンスフリー

    空冷(オプションで循環水冷も可)

    長期保証:MATRIX532は18ヶ月(10,000時間)、MATRIX1064は24ヶ月(動作時間無制限)

  • 高繰返、高出力全固体パルスグリ...

    AVIA 532

    AVIA 532

    平均出力:~45W@120kHz

    波長:532 nm

    シングルショット~300 kHz

    TEM00で業界最高クラスの出力とスループット

    長期保証:24ヶ月(10,000時間)

  • 高繰返し、高出力産業用全固体ピ...

    Taliskerシリーズ

    Taliskerシリーズ

    平均出力:~25W

    波長:355/532/1064 nm

    シングルショット~1000 kHz(Talisker 1000)

    ファイバーレーザをベースにした最先端技術

    優れた空間モード (M2 <1.3)

    パルス幅: <15 ps

    パルス間安定性(σ): <5 %rms (355 nm発振の場合)

    ソフトウェアからの切替で発振波長選択が可能(Talisker Ultra)

    完全シールド構造で高信頼性、フィールドモジュール交換可能

    過酷な出荷前検査を全ユニットに実施、電子データ管理

  • 全固体QスイッチパルスUVレー...

    MATRIX 355

    MATRIX 355

    平均出力:~8W@50kHz

    波長: 355 nm

    シングルショット~150 kHz

    優れたビーム質、低ノイズ

    空冷(オプションで循環水冷も可)

    長期保証:18ヶ月(10,000時間)(355-5-50モデル/355-8-50モデル:14ヵ月(時間無制限))

  • レーザの種類:再生増幅器&光パラメトリック増幅器(OPA)

  • 全固体ワンボックス型フェムト秒...

    Libra

    Libra

    パルスエネルギー: >5.0 mJ @ 1 kHz, >0.7 mJ@5 kHz

    パルス幅: <100 fs, <50 fs

  • レーザの種類:エキシマレーザ

  • エキシマレーザ関連

    エキシマレーザ専用光学系

    エキシマレーザ専用光学系

    光学モジュールやコンポ―ネントを組み合わせて専用の光学系を設計

    ラインビームの最長モデルでは、750mmの長さを実現

  • レーザアニーリング向け大出力エ...

    VYPER

    VYPER

    308nm,~1200W@600Hz

    優れたエネルギー安定性(0.45%以下)

    第8世代までの基板サイズにも対応

  • 小型・高性能エキシマレーザ

    ExciStar XSシリーズ

    ExciStar XSシリーズ

    157/193/248/351nm, ~4W@500Hz

    専用コントロールソフトウェア

    超小型・軽量設計

  • 長寿命 小型高繰返しエキシマレ...

    IndyStar

    IndyStar

    193/248nm,~12W@2000Hz

    100億ショットレベルチューブ寿命を実現

    高繰返し(1kHz、2kHz)

    小フットプリント

  • コンパクト、高パルスエネルギー...

    COMPexProシリーズ

    COMPexProシリーズ

    193/248/308/351nm, ~30W@100Hz

    コンパクトなデザインで、設置・操作が容易

    理科学及び研究用途、医療用途にも多くの実績

  • 高効率、高出力エキシマレーザ

    LPXproシリーズ

    LPXproシリーズ

    157/193/248/308/351nm,~80W@200Hz

    稼働率の高い産業用途にも対応

  • 高効率、高出力産業用エキシマレ...

    LEAPシリーズ

    LEAPシリーズ

    248/308 nm,~150W @ 150 Hz

    微細加工応用のコールドアブレーションに最適な波長

    効率的な加工を実現する広い安定化パルスエネルギー領域

    低ショットエネルギー単価

  • 大出力超高安定性産業用エキシマ...

    LAMBDA SXシリーズ

    LAMBDA SXシリーズ

    248/308nm,~540W@600Hz

    バーストモードでもエネルギーが安定

    レーザアニーリングや超精密ドリリングの光源に最適

    専用ソフトウェアにより、複数台の運用を一括管理

  • レーザの種類:高出力半導体レーザ&ファイバーレーザ

  • シングルエミッタ

    Single Emitter

    Single Emitter

    パッケージタイプ- ~7W(CW)@ 808, 810 nm

  • バー&スタック

    Bars and Stacks

    Bars and Stacks

    バー:UMB、パッケージタイプ、ファイバーカップリングタイプ- ~6W(CW)@ 808 nm

    ファイバーカップリングタイプ- ~2.4W(CW)@ 790,808, 810 nm

  • フリースペースタイプ高出力ダイ...

    HighLight Dシリーズ

    HighLight Dシリーズ

    出力(CW): ~ 10 kW

    中心波長: 975 nm

    レーザヘッド:小型設計

    大きなワークディスタンス:~275 mm

    光学系の交換が容易

  • ファイバーアレイパッケージシス...

    HighLight FAP S...

    HighLight FAP System

    出力(QCW): ~ 100W

    中心波長: 800~ 820 nm

    バックリフレクションモニター付

    高出力安定性(6σ):±2%

  • レーザの種類:水冷イオンレーザ

  • ラージフレーム水冷イオンレーザ...

    Innova Sabre

    Innova Sabre

    最大出力:25W(Vis) / 7W(UV)

    スーパーインバー採用安定共振器

    パワートラック自動キャビティアライメント機能搭載

    強制安定化機能νトラックを装備

  • スモールフレーム水冷イオンレー...

    Innova 300C

    Innova 300C

    最大出力:10W(Vis) / 1W(UV)

    シングルライン発振用途にはデュアルブリュースタタイプ、マルチライン専用発振用途には長寿命シングルブリュースタタイプを供給可能

    数千時間以上にも及ぶ寿命を実現

    パワートラック自動キャビティアライメント機能搭載

  • アルミフレーム水冷イオンレーザ...

    Innova 70C

    Innova 70C

    最大出力:5W(Vis)

    長寿命シリーズVプラズマチューブ採用

    ガス供給用アンプル構造

    ファーストウォームアップ

    ミックスガスタイプをラインナップ