パルスレーザ成膜(PLD)   :資料

パルスレーザ成膜は、多様化・複合化する材料製造において、最も利便性の高い手法の一つとして利用されています。 特に短波長レーザの高いフォトンエネルギーは、ターゲット組成比の転写再現性に優れており、 且つ、エキシマレーザ特有の疑似フラットビーム形状が、より強度均一性に優れたレーザ成膜を実現します。当社は、パルスレーザ成膜(PLD)応用に最適な幅広い製品をラインアップしています。