微細加工

詳細応用例

  • 短パルスレーザによる微細加工
  • 金属加工
  • 非金属加工 (樹脂・半導体)
  • ガラス加工
  • インクジェットノズル穴加工

微細加工   :目的別製品

精密微細加工の市場が急速に成長する中、レーザでの加工のニーズが高まっています。レーザ加工は、従来の機械加工法とは違い、微小スポットで複雑な形状の切断や狭隘部の表面処理が可能です。当社の産業用レーザは長時間の連続稼動を実現し、ダウンタイムを最小化するため、生産性を飛躍的に向上させます。特にピコ秒レーザは、信頼性が高く、コストを抑えた数十μレベルの微細加工が実現可能です。当社は、微細加工用の幅広い製品をラインアップしています。

ご希望の応用、レーザの種類を選択ください。コヒレント社のレーザで該当の製品一覧が下に表示されます。

  • ご希望のレーザの種類を選択する
  • 連続発振/擬似連続発振全固体レーザ&LDモジュール
  • パルス発振全固体レーザ (フェムト秒/ピコ秒/ナノ秒)
  • フェムト秒/ピコ秒レーザシステム、再生増幅器&光パラメトリック増幅器
  • エキシマレーザ
  • シールドCOレーザ / CO2レーザ

該当製品一覧

  • 応 用: 短パルスレーザによる微細加工

  • 応 用: 金属加工

  • 応 用: 非金属加工 (樹脂・半導体)

  • 応 用: ガラス加工

  • 応 用: インクジェットノズル穴加工

  • レーザの種類:連続発振/擬似連続発振全固体レーザ&LDモジュール

  • 小型高出力モードロック全固体U...

    Paladin Compact...

    Paladin Compact 355

    355 nm, ~4W

    疑似CW発振

    低価格、省電力

    小型(ヘッドサイズ: L686 x W216 x H127 mm)

  • 高出力モードロック全固体UVレ...

    Paladin Advance...

    Paladin Advanced

    355/532 nm, ~24W

    疑似CW発振

    省電力(完全100VAC動作)

    ヘッドサイズ: L1100 x W305 x H200 mm

  • レーザの種類:パルス発振全固体レーザ (フェムト秒/ピコ秒/ナノ秒)

  • 高出力、産業用ピコ秒レーザの次...

    HyperRapid NXシリ...

    HyperRapid NXシリーズ

    出力(@ 1000 kHz): 最大100W(IR)、50W(グリーン)、30W(UV)

    繰返周波数: ~ 1 MHz

    最大パルスエネルギー:250 µJ

    パルス数の任意設定可能

    バーストモード機能搭載

    コンパクトで経済的な設計

  • 産業用高出力フェムト秒発振レー...

    Monaco

    Monaco

    フェムト秒高出力: 400 fs, 40W (40 μJ @ 1 MHz / 1035 nm)、20W (20 μJ @ 1 MHz / 517 nm)

    幅広い繰返周波数:シングルショット ~ 1 MHz

    パルス幅可変オプション可能 (10 ps) *IRモデルのみ

    優れたビーム質 (M2 <1.2)

    完全密閉筐体のワンボックス設計

    高加速寿命試験(HALT)、加速ストレス性能試験(HASS)を採用

    イーサネット接続によるリモートアクセスが可能

  • 産業用 高エネルギー フェムト...

    RAPID FXシリーズ

    RAPID FXシリーズ

    フェムト秒高パルスエネルギー:~100 μJ @ 100 kHz (10W @ 1030 nm, 900 fs)

    高繰返周波数:~ 200 kHz

    パルスオンデマンド機能

    優れたビーム質 (M2 <1.4)

    AOMプロセスシャッター内蔵

    産業用要件をみたす高い安定性と高信頼性設計

    小型レーザヘッド: 68 x 26 x 29 cm (電装部品をすべて一体化)

  • 全固体パッシブQスイッチ短パル...

    FLARE NX

    FLARE NX

    波長:343/515/1030 nm

    最大繰返周波数:2 kHz

    最大パルスエネルギー:>500 µJ (IRモデル)

    短パルス:~1 ns

    小型設計:(L) 160 x (W) 93.5 x (H) 38.25 mm

    MALDI-TOF、レーザマイクロダイセクション、レーザ誘起蛍光(LIF)などライフサイエンス応用に理想的

  • 高出力Qスイッチパルスグリーン...

    REVOLUTIONシリーズ

    REVOLUTIONシリーズ

    波長:527 nm、最大平均出力80W、最大パルスエネルギー45 mJ

    繰返周波数レンジ:シングルショット~10 kHz(調整可)

    産業応用で実績のあるHASS/HALTを実施し、産業レベルの信頼性を提供

  • 高出力、小型全固体ナノ秒UV/...

    AVIA NX

    AVIA NX

    355 nm (10W、20W、40W)

    532 nm (36W、65W)

    コントローラをレーザヘッドに内蔵した小型設計

    繰返周波数:~300 kHz

  • 産業用小型ピコ秒発振レーザ

    RAPID NXシリーズ

    RAPID NXシリーズ

    平均出力(@ 1000 kHz): 7W @ 1064 nm

    繰返周波数:50 kHz ~ 1 MHz

    最大パルスエネルギー:50 µJ

    パルス数の任意設定可能

    レーザパルス制御機能(Seeder Burst)搭載

    高ビーム品質:M2 <1.3

  • 高繰返し、高出力全固体パルスU...

    AVIA 355

    AVIA 355

    平均出力:~33W@ 110kHz

    波長:355 nm

    シングルショット~300 kHz

    TEM00で業界最高クラスの出力とスループット

    長期保証:24ヶ月(10,000時間)(※33Wモデル以外)

  • 高繰返し、高出力産業用全固体ピ...

    RAPIDシリーズ

    RAPIDシリーズ

    旧Lumera Laser GmbH社の高出力ピコ秒レーザ

    高繰返しタイプ(5モデル)、高エネルギータイプ(2モデル)から選択

    出力: 100W @1064 nm、65W @532 nm (HYPER RAPID 100)

    高ビーム品質:M2<1.3 (HYPER RAPID 50、HYPER RAPID 50-HE、HYPER RAPID 100はM2<1.4)

    繰返し周波数: ~ 1 MHz

    短パルス:<15 ps (RAPID/RAPID10のみ<10 ps)

    バーストパルススプリット機能(1パルスを時間分離する)

    外部トリガー制御用EOMオプション

  • 小型全固体アクティブQスイッチ...

    Heliosシリーズ

    Heliosシリーズ

    平均出力:~3W@532 nm、~5W@1064 nm

    シングルショット~ 70 kHz(オプション:~ 125 kHz)

    小型設計

    空冷式

    高信頼性と優れたコストパフォーマンスを実現

    エレクトロニクスや太陽電池産業で求められる高スループット、高品位加工を実現

  • 全固体Qスイッチパルスグリーン...

    MATRIX 532/1064

    MATRIX 532/1064

    ~14W@532 nm, ~10W@1064 nm

    高性能、メンテナンスフリー

    空冷(オプションで循環水冷も可)

    長期保証:MATRIX532は18ヶ月(10,000時間)、MATRIX1064は24ヶ月(動作時間無制限)

  • 高繰返、高出力全固体パルスグリ...

    AVIA 532

    AVIA 532

    平均出力:~45W@120kHz

    波長:532 nm

    シングルショット~300 kHz

    TEM00で業界最高クラスの出力とスループット

    長期保証:24ヶ月(10,000時間)

  • 高繰返し、高出力産業用全固体ピ...

    Taliskerシリーズ

    Taliskerシリーズ

    平均出力:~25W

    波長:355/532/1064 nm

    シングルショット~1000 kHz(Talisker 1000)

    ファイバーレーザをベースにした最先端技術

    優れた空間モード (M2 <1.3)

    パルス幅: <15 ps

    パルス間安定性(σ): <5 %rms (355 nm発振の場合)

    ソフトウェアからの切替で発振波長選択が可能(Talisker Ultra)

    完全シールド構造で高信頼性、フィールドモジュール交換可能

    過酷な出荷前検査を全ユニットに実施、電子データ管理

  • 全固体QスイッチパルスUVレー...

    MATRIX 355

    MATRIX 355

    平均出力:~8W@50kHz

    波長: 355 nm

    シングルショット~150 kHz

    優れたビーム質、低ノイズ

    空冷(オプションで循環水冷も可)

    長期保証:18ヶ月(10,000時間)(355-5-50モデル/355-8-50モデル:14ヵ月(時間無制限))

  • レーザの種類:フェムト秒/ピコ秒レーザシステム(オシレータ)

  • 高出力フェムト秒ファイバーレー...

    Fidelityシリーズ

    Fidelityシリーズ

    最大平均出力:18W

    中心波長:1040 / 1070 nm

    パルス幅:< 140 / 55 fs

    群速度分散補正機能内蔵

    小型フットプリント

  • レーザの種類:再生増幅器&光パラメトリック増幅器(OPA)

  • 250 kHz fs再生増幅器...

    RegA

    RegA

    パルスエネルギー: >6 μJ @ 100 kHz

    パルス幅: <160 fs, <60 fs, <40 fs

    繰返周波数: 10~250 kHz

  • 高出力 チタンサファイア再生増...

    Legend Elite

    Legend Elite

    パルスエネルギー: >13 mJ @ 1 kHz

    エネルギー安定性:2<1.3)

  • 全固体ワンボックス型フェムト秒...

    Libra

    Libra

    パルスエネルギー: >5.0 mJ @ 1 kHz, >0.7 mJ@5 kHz

    パルス幅: <100 fs, <50 fs

  • レーザの種類:エキシマレーザ

  • UV微細加工装置

    VarioLas

    VarioLas

    3種類の標準モデル

    柔軟な少量生産に最適

    豊富なオプション:安全/制御用

  • エキシマレーザ関連

    エキシマレーザ専用光学系

    エキシマレーザ専用光学系

    光学モジュールやコンポ―ネントを組み合わせて専用の光学系を設計

    ラインビームの最長モデルでは、750mmの長さを実現

  • レーザアニーリング向け大出力エ...

    VYPER

    VYPER

    308nm,~1200W@600Hz

    優れたエネルギー安定性(0.45%以下)

    第8世代までの基板サイズにも対応

  • 小型・高性能エキシマレーザ

    ExciStar XSシリーズ

    ExciStar XSシリーズ

    157/193/248/351nm, ~4W@500Hz

    専用コントロールソフトウェア

    超小型・軽量設計

  • 長寿命 小型高繰返しエキシマレ...

    IndyStar

    IndyStar

    193/248nm,~12W@2000Hz

    100億ショットレベルチューブ寿命を実現

    高繰返し(1kHz、2kHz)

    小フットプリント

  • コンパクト、高パルスエネルギー...

    COMPexProシリーズ

    COMPexProシリーズ

    193/248/308/351nm, ~30W@100Hz

    コンパクトなデザインで、設置・操作が容易

    理科学及び研究用途、医療用途にも多くの実績

  • 高効率、高出力エキシマレーザ

    LPXproシリーズ

    LPXproシリーズ

    157/193/248/308/351nm,~80W@200Hz

    稼働率の高い産業用途にも対応

  • 高効率、高出力産業用エキシマレ...

    LEAPシリーズ

    LEAPシリーズ

    248/308 nm,~150W @ 150 Hz

    微細加工応用のコールドアブレーションに最適な波長

    効率的な加工を実現する広い安定化パルスエネルギー領域

    低ショットエネルギー単価

  • 大出力超高安定性産業用エキシマ...

    LAMBDA SXシリーズ

    LAMBDA SXシリーズ

    248/308nm,~540W@600Hz

    バーストモードでもエネルギーが安定

    レーザアニーリングや超精密ドリリングの光源に最適

    専用ソフトウェアにより、複数台の運用を一括管理

  • レーザの種類:シールドCOレーザ / CO2レーザ

  • 【中出力モデル(160~400...

    DIAMOND Jシリーズ

    DIAMOND Jシリーズ

    9.4 μm, ~350W

    10.6 μm, ~400W

    高速立上り/立下り時間

    優れたモード品質と出力安定性

    低価格

    内蔵、取り外し可能なRFパワーサプライ

  • 【低出力モデル(10~100W...

    DIAMOND C/GEM シ...

    DIAMOND C/GEM シリーズ

    9.3/9.6/10.2/10.6 μm, ~100W

    空冷・水冷タイプを選択可能

    低価格、低ランニングコスト

    優れたモード品質と出力安定性

  • 【中出力モデル(100W)】R...

    DIAMOND Gシリーズ

    DIAMOND Gシリーズ

    10.6 μm, ~100W

    9.4 μm, ~100W

    短パルス・高ピークエネルギー

    小型設計、ロボットアームへの搭載可能

    低価格、低ランニングコスト

  • 【高中出力モデル(150~10...

    DIAMOND Eシリーズ

    DIAMOND Eシリーズ

    9.4 μm, ~350W

    10.6 μm, ~1000W

    業界最小(E-1000モデル)

    高コストパフォーマンス(パワーvs価格)

    パワーループ付きモデル有