微細加工

詳細応用例

  • 短パルスレーザによる微細加工
  • 金属加工
  • 非金属加工 (樹脂・半導体)
  • ガラス加工
  • インクジェットノズル穴加工

微細加工   :概要

精密微細加工の市場が急速に成長する中、レーザでの加工のニーズが高まっています。レーザ加工は、従来の機械加工法とは違い、微小スポットで複雑な形状の切断や狭隘部の表面処理が可能です。当社の産業用レーザは長時間の連続稼動を実現し、ダウンタイムを最小化するため、生産性を飛躍的に向上させます。特にピコ秒レーザは、信頼性が高く、コストを抑えた数十μレベルの微細加工が実現可能です。当社は、微細加工用の幅広い製品をラインアップしています。

レーザ活用のメリット

  • 高集積化とスループットの両立
  • 工程数及び、CoO低減と自動化のメリット

短パルスレーザによる微細加工

微細加工
短パルスレーザによる微細加工

加工例

レーザ加工は、従来の機械加工法とは違い、微小スポットで複雑な形状の切断や狭隘部の表面処理が可能です。当社の産業用レーザは長時間の連続稼動を実現し、ダウンタイムを最小化するため、生産性を飛躍的に向上させます。特にピコ秒レーザは、信頼性が高く、コストを抑えた数十μレベルの微細加工が実現可能です。

エキシマレーザによる加工

石英への加工 強化ガラスのドリリング ダイアモンドのマーキング LASIK
ガラスへの孔あけ加工 ガラスへの長方形パターンマスク 50μm厚ガラス切断
髪への非熱加工 ワイヤーストリップ プラスチック(コールドマーキング) レーザダイレクトパターニング(LDP)
アルミ薄膜上のポリイミド除去 インクジェットノズル ポリイミドフィルムの貫通孔加工

全固体パルスレーザによる加工

ピコ秒レーザによる加工
 
ナノ秒レーザによる加工

フェムト秒レーザによる加工

ガラス基盤 光導波路 ガラス基盤 溝加工 Si加工
Cr膜 除去 サファイア基盤加工    
マスクリペア マスクリペア
 
透明材料内部への微細加工

透明材料内部への微細加工

封じ切りCO2レーザによる加工