FPD応用

詳細応用例

  • レーザリフトオフ
  • レーザ熱転写
  • フリット溶接
  • レーザアニール
  • ITOドライエッチング(タッチパネルディスプレイ用)
  • レーザガラススクライビング
  • 液晶非破壊検査
  • カラーフィルタ・レジストパターニング

FPD応用   :概要

コヒレント社のレーザ発振器は、FPD市場において、レーザリフトオフ、フリット溶接、レーザアニール(LTPS)、ITO膜の除去、ガラス切断、レーザマーキング、非破壊検査、レーザリペアに至る、 幅広い応用に利用されています。近年、パネルの大型化により、より大きなエリアを高速に加工する要求が高まっています。このような状況下、さらなる生産性向上のニーズにお応えするため、当社は、高繰返周波数動作において、より平均出力が高い製品を開発しています。

レーザ活用のメリット

  • ITOドライエッチング --- レジスト露光・ケミカルエッチング設備導入コストの省略
  • レーザガラススクライビング --- マイクロクラックフリー
  • レーザアニール
    • UVレーザ、グリーンレーザ、赤外レーザの提案
    • ガスレーザ、固体レーザの提案
    • 光学系を含めた総合的な提案

レーザアニーリングの概念図

FPD応用 レーザアニーリングの概念図

加工例

無アルカリガラスへのV溝形成
(マイクロクラックフリー)
  
CO2レーザによるガラスの熱応力割断
 
  
ITOレーザドライエッチング
 
無アルカリガラスへのV溝形成(マイクロクラックフリー)
  
CO2レーザによるガラスの熱応力割断
  
ITOレーザドライエッチング