コヒレント・ジャパン株式会社


コヒレント・ジャパン株式会社
ナイフエッジ方式ビームプロファイラ
BeamMaster™ (ビームマスター)
レーザビーム診断システム
標準価格(税別)
  • ¥938,000〜
¥938,000〜
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Beam Masterは、マルチナイフエッジスキャン方式による高確度レーザビームプロファイラです。 このプロファイラを使って、断面プロファイルや2次元、3次元画像プロットをリアルタイムでサンプリング、測定、表示できます。1〜20個のサンプルを選んで平均値を求めることでノイズを低減し、測定確度を最大限に高めることができます。 また、データを収集、保存でき、RS-232ポートに連続出力できます。画面の画像はすべて保存が可能で、Windows®対応のプリンタで印刷もできます。 

BeamMasterは、0.1 μmの解像度でわずか3 μmの集光ビームスポットを測定でき、大径のビームも、1 μmの解像度で測定できる最大9 mmのアパーチャを備えています。また、Siエンハンスドタイプは、190〜1100 nm、InGaAsは800〜1800 nmの範囲で測定できます。歪みの無い光学減衰フィルターと自動ゲイン制御機能により10 μWの出力にも対応しています。

※回転マウントはオプション
  • CWレーザ用
  • ビームの形状、パワー、位置を測定
  • 0.1 μmの解析度と高いダイナミックレンジで3 μm to 9 mmのビームを測定
  • リアルタイムの表示・分析、データログシステム
  • 測定波長範囲:190 to 1800 nm
CWレーザ用 ビームの形状、パワー、位置を測定 0.1 μmの解析度と高いダイナミックレンジで3 μm to 9 mmのビームを測定 リアルタイムの表示・分析、データログシステム 測定波長範囲:190 to 1800 nm
ビームのプロファイルと幅
BeamMasterは、ドラムが回転するたびにパワー、位置、プロファイル情報など、7つのナイフエッジ(BM-3では3つのナイフエッジ)がビームを通過して得たデータを取り込み、処理します。この情報は、回転ごとに表示でき、ストリップチャートの作成やファイルをRS-232ポートへ送出することもできます。2つの直交プロファイルを表示でき、ユーザが選んだ3つのクリップレベルでビーム幅を表示できます。ガウシアンフィットプロファイルは、選択したどの測定プロファイルにも多重表示できます。また、ガウシアン係数と相関パラメータも表示できます。

■ プロファイル解析例
(青線が実測で赤線はガウシアンフィット)

 

できるだけ詳しいプロファイルを得るために、システムはプロファイルデータを自動的に中心に置き、ビーム幅の3倍までズーム表示します。また、ディスプレイの高さに合うように、プロファイルの強度データはオートスケールされます(オプション)。高解像度モードでは、さらに詳しい情報が得られ、このモードは、形状がガウシアンビームとは異なるビームや、100 μm未満のビーム分析に非常に有用です。

■ 2軸解析例
下段はビーム径の変動を表示。

ビームの位置と楕円率
ビームの形状、楕円率(長軸と短軸)、角度方向とともに、ビームの中心位置をセンサーエリアの中心に対する相対位置として連続してモニターできます。また、ズーム機能も使えます。ユーザはクリップレベルを選択でき、位置(X,Y)データはストリップチャートで表示され、短期または長期的な経時的安定性あるいはドリフトをモニターできます。

■ ビームポジション(+印)表示

パワー測定
デジタル読取値として、あるいはアナログの「指針」と組み合わせて、ビームパワーを表示できます。単位はμW、mW、dBmのいずれかより選択でき、ゼロオフセットや、パワー範囲のどの部分でもズームできます。アッテネータ(フィルター)ファイルを選択でき、テスト範囲を選択、表示して、ビーム所定の限度内にあるかどうかモニターできます。オプションでアラーム音を鳴らすこともできます。

■ パワー測定

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